ZYGO 77148070-0278-13 激光干涉仪

ZYGO 77148070-0278-13激光干涉仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，主要用于反射面或光学面的形貌表征。它基于激光3维相移干涉法，具有高精度和高稳定性的特点。ZYGO 77148070-0278-13激光干涉仪可用于各种不同的环境和条件下，其广泛的应用范围使其成为各种不同领域中的重要工具。

激光3维相移干涉法是一种基于干涉原理的测量技术，利用激光作为光源，通过干涉现象来测量物体表面的形貌。该方法的基本原理是，当激光束被物体表面反射后，与参考光束发生干涉，形成干涉条纹。通过相移技术，可以获得物体表面的三维形貌信息。

在相移干涉测量中，通常采用移相式激光干涉仪。这种仪器通过控制压电陶瓷驱动器（PZT）移动参考镜位置或者改变激光器波长的方式，令参考光和测试光的光程差改变，从而实现相位的调制。在移相过程中，通过光电探测器（CCD或者CMOS）采集不同移相量下的干涉图，并利用计算机对干涉图组的像素数据进行系列运算，以求解被测元件的面形信息。

该方法具有高精度、高稳定性和高可靠性的特点，因此在材料科学、光学检测、表面处理等领域得到广泛应用。不过，当有外部干扰时，相位变化呈无规则态，此时相移干涉法的解相效果可能会受到影响。

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